陶瓷加热器
陶瓷加热器是为获得适当工艺温度而对基板进行加热的部件，本公司主要提供的陶瓷加热器主要应用于半导体 CVD 工艺。
主要材料为 AlN，本公司主要支持寿命到期陶瓷加热器的维修、备用用新品制作，或为设备改造及问题改善提供形状 / 结构 / 图案的 Modification。
可供应类型
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项目 |
主要供应类型 |
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使用工艺 |
•半导体用 CVD
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主要材料 |
AlN |
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产品分类 |
•P-chuck & C-chuck
•AlN 加热器
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主要供应等级
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Level |
说明 |
制造工艺（标准） |
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L1 |
Surface Treatment |
来料检验 → 喷砂清洗 → 最终检验 → 清洗 + 组装 + 包装 |
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L2 |
L1+Re-pocket & Re-embossing |
来料检验 → 重新开槽加工 → 图案加工 → L1 工艺 |
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L3 |
L2+Re-Brazing |
来料检验 → 重新开槽加工 → New Terminal 接合（钎焊） → 图案加工 → L1 工艺 |
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L4 |
L3+New dielectric layer (Crack Repair) |
来料检验 → 介电层研削 → 研磨 → New Dielectric Layer 接合（玻璃键合） → 口袋部加工 → New Terminal 接合（钎焊） → 图案加工 → L1 工艺 |
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新品 |
All New |
Plate（& Shaft 制作） →（Plate & Shaft 接合） → 形状加工 → New Terminal 接合（钎焊） → 图案加工 → L1 工艺 |
产品图片
P-chuck & C-chuck
AlN Heater