CN

概述

完成工艺的
核心部件

从光刻吸盘、真空吸盘、ESC、GDP 到陶瓷加热器，
通过针对各工艺优化的设计与精密加工，提供值得信赖的解决方案。

光刻吸盘

  • 半导体用
  • 显示器用

真空吸盘

  • 晶圆检测 / 计量设备用
  • Hybrid 键合用

ESC

  • 半导体（ETCH / CVD / PVD / Implant / 激光切割）
  • 显示器（OLED 激光切割，OLEDoS 沉积）

GDP

  • 半导体（ETCH）

陶瓷加热器

  • 半导体（CVD / PVD）