ESC
ESC 是利用静电力固定基板的部件，本公司主要提供的陶瓷 ESC 主要应用于半导体 Etch 用的 CVD、PVD、Implant 工艺，以及显示器用的 Laser Cutting、OLEDoS deposition 工艺。
主要材料为 AlN、Al₂O₃ 及复合陶瓷，本公司主要支持寿命到期 ESC 的维修、备用新品制作，或为设备改造及问题改善提供形状 / 结构 / 图案的 Modification。
可供应类型
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项目 |
主要供应类型 |
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使用工艺 |
•半导体用 Etch 工艺（CVD、PVD、Implant、TSV / Plasma Dicing）
•显示器用 OLED 激光切割、OLEDoS 沉积
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主要材料 |
AlN 板、Al₂O₃ 板、Al₂O₃ 涂层 |
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产品类型 |
•吸附机制：库仑型、JR 型
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主要供应等级
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Level |
说明 |
制造工艺（标准） |
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L1 |
Surface Treatment |
来料检验 →（研磨 / 研磨抛光 / 抛光 →）图案加工 → 最终检验 → 清洗 + 组装 + 包装 |
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L2 |
L1 + Re-bonding |
来料检验 → 去键合 → Used Plate 键合 → L1 工艺 |
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L3 |
L2 + New Dielectric Layer |
来料检验 → 去键合 →（Used Plate 键合 → 介电层研磨 →）New Dielectric Layer 键合 → L1 工艺 |
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L4 |
L3 + New Heater Layer |
来料检验 → 去键合 →（单独加热层键合 →）New Plate 键合 → L1 工艺 |
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新品 |
All New |
Plate 制作 → 形状加工 → Terminal 接合（钎焊 / 焊接 等） →（单独加热层键合 →）New Plate 键合 → L1 工艺 |
产品工艺流程
产品图片
AlN，JR 型
AlN，JR 型
Al₂O₃，库仑型
Al₂O₃ + DLC，库仑型
Al₂O₃ 涂层，JR 型