光刻吸盘
光刻吸盘（Photo Chuck）是在利用光进行电路图形转印的光刻（Photolithography）工艺中，
主要通过真空压力固定基板的部件，半导体用光刻吸盘也被称为 Wafer Table。
我司主要提供寿命到期光刻吸盘的维修、备用新品制作，或为设备改造及问题改善提供形状 / 结构 / 图案的 Modification，同时也支持 Display 用大面积光刻吸盘的制造。
可供应类型
|
项目 |
主要供应类型 |
|
使用工艺 |
•半导体用光刻工艺
•显示器用光刻工艺
|
|
主要材料 |
SiC、Si-SiC、黑色 Al₂O₃、石英 等 |
|
产品类型 |
•图案：针型、环型、Anti-Wrap 型 等
|
主要供应等级
|
Level |
说明 |
制造工艺（标准） |
|
L1 |
平坦度修复 |
来料检验 → 研磨 / 抛光 & 工艺检验 → 最终检验 → 清洗 + 包装 |
|
新品 |
All New |
SiC 粉末 → 成型 → (绿体加工 →) 烧结 → 形状加工 → (粗磨 →) 图案加工 → 研磨 / 抛光 & 工艺检验 → 最终检验 → 清洗 + 组装 + 包装 |
产品工艺流程
产品图片
SiC, Pin Pattern
SiC, Ring Pattern
SiC, 2 Step Pin Pattern
SiC, Ring Pattern
Al2O3, Pin Pattern