세라믹 히터
세라믹 히터는 적절한 공정 온도를 얻기 위해 기판를 가열하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 세라믹 히터는 주로 반도체 CVD 공정에 쓰입니다.
주요 소재는 AlN이며, 당사는 주로 수명이 다한 세라믹 히터에 대한 수리나 스페어용 신품 제작, 혹은 장비 개조 혹은 이슈 개선을 위한 형상/구조/패턴 Modification을 지원합니다.
공급 가능 TYPE
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항목 |
주요 공급 타입 |
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사용 공정 |
•반도체용 CVD
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주요 재질 |
AlN |
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제품 구분 |
•P-chuck & C-chuck
•AlN
Heater
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주요 공급 LEVEL
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Level |
설명 |
제작 공정 (표준) |
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L1 |
Surface Treatment |
입고검사 → 블라스트 세정 → 최종검사 → 세정+조립+포장 |
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L2 |
L1+Re-pocket & Re-embossing |
입고검사 → 리포켓 가공 → 패터닝→ L1 공정 |
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L3 |
L2+Re-Brazing |
입고검사 → 리포켓 가공 → New Terminal 접합 (브레이징) → 패터닝→ L1 공정 |
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L4 |
L3+New dielectric layer (Crack Repair) |
입고검사 → Dielectric layer 연삭 → 래핑 → New Dielectric layer 접합 (글라스 본딩) → 포켓부 가공 → New Terminal 접합 (브레이징) → 패터닝→ L1 공정 |
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신품 |
All New |
Plate (& Shaft 제작) → (Plate & Shaft 접합) → 형상 가공 → New Terminal 접합 (브레이징) → 패터닝→ L1 공정 |
제품 Image
