GDP
GDP는 Gas distribution plate의 약자로 Showerhead, Cathode로도 부릅니다.
공정 Gas를 균일하게 공급하는 역할을 하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 CVD GDP와 Y2O3 GDP는 주로 반도체 dielectric Etch 공정에 쓰입니다.
당사는 주로 수명이 다한 CVD GDP와 Y2O3 GDP에 대한 수리나 스페어용 신품 제작, 혹은 장비 개조 혹은 이슈 개선을 위한 형상/구조/패턴 Modification을 지원합니다.
공급 가능 TYPE
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항목 |
주요 공급 타입 |
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사용 공정 |
•반도체 dielectric
Etch 공정
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주요 재질 |
CVD, Y2O3 |
주요 공급 LEVEL
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Level |
설명 |
제작 공정 (표준) |
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L3 |
New Plate replacement |
입고검사 → 디본딩 → (바디 상하판 해체 →) (바디 수리→) (바디 리아노다이징 →) (바디 상하판 결합 →) → New Plate 본딩 → 최종검사 → 세정+포장 |
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신품 |
All New |
Plate & Body 제작 → (바디 상하판 결합 →) New Plate 본딩 → 최종검사 → 세정+포장 |
제품 Image
CVDSiC GDP (Showerhead)
Y2O3 GDP (Showerhead)