진공척
진공척은 진공압으로 기판를 고정하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 세라믹 진공척은 검사/계측 장비와 Hybrid Bonding 장비에 사용됩니다.
주요 소재는 S-SiC, Si-SiC, Si3N4, Al2O3 이나 장비에 요구되는 성능에 맞춰 다양한 소재가 고려됩니다.
당사는 주로 장비사와의 협업을 통해 장비의 요구에 맞는 진공척 설계 및 개발부터 착수합니다.
다양한 설계 경험을 바탕으로 Flatness 최적화를 위한 설계, Wafer Warpage 대응, 장착시의 변형을 최소화할 방법 등 진공척에 대한 다양한 노하우를 적용할 수 있습니다.
공급 가능 TYPE
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항목 |
주요 공급 타입 |
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사용 공정 |
•반도체용 검사 및 계측 공정
•Hybrid Bonding
공정
•Wafer/Chip의
Grinding/Polishing 공정
•일부 상압/준상압
CVD공정
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주요 재질 |
SiC, Si-SiC, Si3N4, Al2O3, 포러스세라믹 등 |
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제품 타입 |
•패턴 : 핀
타입, 링
타입, Anti-Wrap 타입
등
•형태 : 패턴
척, 포러스
척
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주요 공급 LEVEL
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Level |
설명 |
제작 공정 (표준) |
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신품 |
All New |
SiC 파우더 → 성형 → (그린가공 →) 소결 → 형상가공 → (황삭래핑 →) 패터닝 → 래핑/폴리싱 & 공정검사 → 최종검사 → 세정+조립+포장 |
제품 Process
제품 Image
SiC, Pin&Ring Pattern
SiC, Pin&Ring Pattern (Anti-Warp.)
SiC, Pin&Ring Pattern (Anti-Warp.)
SiC, Pin&Groove Pattern
Porous Al2O3 Non-patterned (Flat)