セラミックヒーター
セラミックヒーターは、適切なプロセス温度を得るために基板を加熱する部品部品です。 当社が主に取り扱うセラミックヒーターは、主に半導体CVD工程で使用されています。
主な材料はは AlN です。 、当社では寿命に達したセラミックヒーターの修理やスペア用新品の製作に加え 、装置改造や課題改善を目的とした形状・構造・パターンの変更（モディフィケーション）に対応しています。
供給可能タイプ
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項目 |
主な供給タイプ |
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使用工程 |
•半導体用CVD
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主な材質 |
AlN |
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製品区分 |
•P チャック／Cチャック
•AlNヒーター
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主な供給レベル
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レベル |
説明 |
製作工程（標準） |
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L1 |
表面処理 |
入荷検査 → ブラスト洗浄 → 最終検査 → 洗浄＋組立＋包装 |
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L2 |
L1＋再ポケット加工・再エンボス加工 |
入荷検査 → 再ポケット加工 → パターニング → L1工程 |
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L3 |
L2＋再ろう付け |
入荷検査 → 再ポケット加工 → 新規端子接合（ろう付け）→ パターニング → L1工程 |
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L4 |
L3＋新規誘電体層（クラック補修） |
入荷検査 → 誘電体層研削 → ラッピング → 新規誘電体層接合（ガラスボンディング）→ ポケット部加工 → 新規端子接合（ろう付け）→ パターニング → L1工程 |
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新品 |
オールニュー |
プレート（およびシャフト製作）→（プレート＆シャフト接合）→ 形状加工 → 新規端子接合（ろう付け）→ パターニング → L1工程 |
製品イメージ
Pチャック／Cチャック
AlNヒーター