GDP
GDPはGas Distribution Plateの略で、シャワーヘッド（Showerhead）やカソード（Cathode）とも呼ばれる、 プロセスガスを均一に供給する部品です。当社が主に取り扱うCVD用GDPおよびY₂O₃ GDPは、半導体の誘電体エッチング工程で使用されています。
当社では、寿命に達したCVD GDPおよびY₂O₃ GDPの修理やスペア用新品の製作に加え、装置改造や課題改善を目的とした形状・構造・パターンの変更（モディフィケーション）にも対応しています。
供給可能タイプ
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項目 |
主な供給タイプ |
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使用工程 |
半導体誘電体エッチング工程 |
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主な材質 |
CVD, Y2O3 |
主な供給レベル
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レベル |
説明 |
製作工程（標準） |
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L3 |
新規プレート交換 |
入荷検査 → デボンディング →（ボディ上下プレート分解）→（ボディ修理）→（ボディ再アルマイト処理）→（ボディ上下プレート再結合）→ 新規プレート接合 → 最終検査 → 洗浄＋包装 |
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新品 |
オールニュー |
プレート＆ボディ製作 →（ボディ上下プレート結合）→ 新規プレート接合 → 最終検査 → 洗浄＋包装 |
製品イメージ
CVDSiC GDP (Showerhead)
Y2O3 GDP (Showerhead)