フォトチャック
フォトチャックは、光を用いて回路パターンをウェハに転写するフォトリソグラフィ工程において、主に真空圧で基板を固定する部品です、半導体用途ではウェハテーブルとも呼ばれます。
主な材料はS-SiC、Si-SiC、ブラックAl₂O₃です。 当社では、寿命を達したフォトチャックの修理やスペア用新規製作に加え、装置改造や課題改善目的とした形状・構造・パターンの変更にも対応しています。 また、ディスプレイ用途の大面積フォトチャックの製作も可能です。
供給可能タイプ
|
項目 |
主な供給タイプ |
|
使用工程 |
・半導体用フォトリソグラフィ工程 |
|
主な材質 |
SiC、Si-SiC、ブラックAl₂O₃、石英（Quartz）など |
|
製品タイプ |
・パターン：ピンタイプ、リングタイプ、アンチワープタイプ など |
主な供給レベル
|
レベル |
説明 |
製作工程（標準） |
|
L1 |
フラットネス修正 |
入荷検査 → ラッピング／ポリッシング ＆ 工程検査 → 最終検査 → 洗浄＋包装 |
|
新品 |
オールニュー |
SiCパウダー → 成形 →（グリーン加工）→ 焼結 → 形状加工 →（荒ラッピング）→ パターニング → ラッピング／ポリッシング ＆ 工程検査 → 最終検査 → 洗浄＋組立＋包装 |
製品プロセス
製品イメージ
SiC, Pin Pattern
SiC, Ring Pattern
SiC, 2 Step Pin Pattern
SiC, Ring Pattern
Al2O3, Pin Pattern